Device and method for inspecting pattern of printed circuit board

プリント基板のパターン検査装置及び方法

Abstract

(57)【要約】 【課題】プリント基板上の配線パターンの検査を、パタ ーンの反射率や基板の材質に依存しないで行うことで、 環境変化や材料選定の制約による検査上の問題を解消す る。 【解決手段】本発明は、一方の面に導電膜4を設けた圧 電材料からなる圧電フィルム3を備える。圧電フィルム 3をプリント基板1上に密接させ、導電膜4と検査した い配線パターン2間に高周波信号を与える。導電膜4と 高周波信号を与えられた配線パターン間に位置する圧電 フィルムの領域は、圧電現象によって振動する。受光素 子8には、レーザ光源7からのレーザ光及び圧電フィル ム3からの反射したレーザ光が入射する。検査中の配線 パターンの部分から反射したレーザ光は、その上の圧電 フィルムの振動により光路長が微小変化する。その結 果、直接受光素子に入射したレーザ光との干渉により得 られる光の振幅は微小時間間隔で変化し、これより検査 対象の配線パターンの配置が確認できる。
PROBLEM TO BE SOLVED: To surely detect a pattern with a relatively simple configuration. SOLUTION: When a piezoelectric film 3 consisting of a piezoelectric material with a conductive film 4 on one surface is provided, the piezoelectric film 3 is adhered onto a printed circuit board 1 and a high-frequency signal is given between the conductive film 4 and a wire pattern 2 to be inspected. The region of the piezoelectric film 3 located between the conductive film 4 and a wire pattern where a high-frequency signal is given vibrates due to piezoelectric phenomenon. Laser beams from a laser light source 7 and laser beams reflected from the piezoelectric film 3 are applied to a light reception element 8. The optical path length of laser beams reflected from the pattern of the wire pattern being inspected slightly changes due to the vibration of the piezoelectric film 3 above. As a result, the amplitude of light obtained by the interference with the laser beams directly applied to the light reception element 8 changes with a slight time interval, thus confirming the arrangement of the wire pattern to be inspected. COPYRIGHT: (C)1997,JPO

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